MEMS（Micro-Electro-Mechanical Systems）是一种集成了微型机械、电子和计算机技术的微型系统。MEMS器件通常由微型机械结构和电子元器件组成，其尺寸通常在几微米到几毫米之间。MEMS器件的制造过程非常复杂，需要使用多种材料和工艺。其中，金属粉末浆料是一种常用的材料，用于制造MEMS互连。

MEMS互连是指将MEMS器件中的微型机械结构和电子元器件连接起来，以实现器件的功能。金属粉末浆料通常用于制造MEMS互连中的金属线路和电极。金属粉末浆料的附着强度是影响MEMS器件可靠性和稳定性的重要因素之一。因此，需要对金属粉末浆料的附着强度进行测试。

IEC 62047-38:2021标准规定了一种测试MEMS互连中金属粉末浆料附着强度的方法。该方法使用剪切测试仪对金属粉末浆料进行测试。测试时，将样品固定在测试仪上，然后施加剪切力，以测量金属粉末浆料与基板之间的附着强度。该方法可以评估金属粉末浆料与基板之间的附着强度，以确保器件的可靠性和稳定性。

该标准适用于使用金属粉末浆料进行MEMS互连的器件，如MEMS传感器和MEMS执行器等。该标准的实施需要一定的测试设备和技术，需要在专业人员的指导下进行。

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