IEC 62047-40:2021
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 40:Test methods of micro-electromechanical inertial shock switch threshold
发布时间:2021-09-03 实施时间:


微电子机械器件是一种集成了微机电系统技术和半导体器件技术的新型器件,具有体积小、功耗低、响应速度快等优点,广泛应用于汽车、航空航天、医疗、安防等领域。微电子机械惯性冲击开关是一种基于微机电系统技术的惯性传感器,可以检测物体的加速度和震动,广泛应用于汽车碰撞检测、智能手机抖动检测等领域。

IEC 62047-40:2021标准规定了微电子机械惯性冲击开关阈值测试方法,主要包括测试设备、测试方法、测试程序和测试结果的评估方法。测试设备包括惯性冲击测试仪、加速度计、数字万用表等。测试方法包括单轴和多轴惯性冲击测试,测试程序包括预处理、测试、数据处理等步骤。测试结果的评估方法包括阈值计算、误差分析、可靠性评估等。

本标准的实施可以保证微电子机械惯性冲击开关的阈值测试结果准确可靠,为微电子机械器件的研发和生产提供了技术支持和标准化参考。

相关标准
- IEC 62047-1:2017 半导体器件-微电子机械器件-第1部分:总则
- IEC 62047-3:2017 半导体器件-微电子机械器件-第3部分:加速度计
- IEC 60749-40:2019 半导体器件-机械试验-第40部分:微电子机械器件的机械冲击试验方法
- IEC 60749-41:2019 半导体器件-机械试验-第41部分:微电子机械器件的机械振动试验方法
- IEC 60749-42:2019 半导体器件-机械试验-第42部分:微电子机械器件的机械可靠性试验方法