IEC 60749-3:2002标准规定了半导体器件外部视觉检查的方法和标准。该标准主要包括以下内容:
1. 检查方法
半导体器件的外部视觉检查应该在光线充足的环境下进行,检查人员应该使用放大镜、显微镜等工具进行检查。检查时应该注意避免对半导体器件造成损伤。
2. 检查内容
半导体器件的外部视觉检查应该包括以下内容:
(1)表面缺陷:检查半导体器件表面是否有凹坑、气泡、划痕等缺陷。
(2)裂纹:检查半导体器件表面是否有裂纹,裂纹的长度、宽度等应该符合标准要求。
(3)氧化:检查半导体器件表面是否有氧化现象,氧化的程度应该符合标准要求。
(4)腐蚀:检查半导体器件表面是否有腐蚀现象,腐蚀的程度应该符合标准要求。
3. 检查标准
半导体器件的外部视觉检查应该符合以下标准:
(1)表面缺陷:半导体器件表面不应该有凹坑、气泡、划痕等缺陷,如果有缺陷,缺陷的深度、长度、宽度等应该符合标准要求。
(2)裂纹:半导体器件表面不应该有裂纹,如果有裂纹,裂纹的长度、宽度等应该符合标准要求。
(3)氧化:半导体器件表面不应该有氧化现象,如果有氧化现象,氧化的程度应该符合标准要求。
(4)腐蚀:半导体器件表面不应该有腐蚀现象,如果有腐蚀现象,腐蚀的程度应该符合标准要求。
4. 检查结果
半导体器件的外部视觉检查结果应该记录在检查报告中,包括检查日期、检查人员、检查结果等信息。如果半导体器件的外观质量不符合标准要求,应该进行修复或者淘汰。
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