静电放电(ESD)是半导体器件在制造、运输、安装和使用过程中面临的主要问题之一。静电放电可能会导致器件损坏或失效,从而影响器件的性能和可靠性。因此,对半导体器件的静电放电敏感性进行测试是非常重要的。
IEC 60749-26:2013标准主要介绍了人体模型(HBM)测试方法。人体模型是一种模拟人体静电放电的测试方法,它模拟了人体接触器件时可能产生的静电放电。该测试方法使用一个标准的电容放电器,将电荷通过一个标准的人体模型放电到被测试器件上,以评估器件对静电放电的敏感性。
该标准规定了测试器件的准备、测试条件、测试程序和测试结果的评估方法。测试器件应在标准的温度和湿度条件下进行测试,并应在测试前进行预处理,以确保测试结果的准确性。测试程序包括多个测试步骤,每个步骤都有特定的测试条件和测试结果的评估方法。测试结果应根据标准的评估方法进行评估,并应记录在测试报告中。
除了人体模型测试方法外,IEC 60749-26:2013还介绍了其他静电放电测试方法,如机器模型(MM)测试和直接放电(CD)测试。机器模型测试模拟了机器之间的静电放电,而直接放电测试模拟了器件直接接触静电放电的情况。这些测试方法可以根据具体的应用需求进行选择。
总之,IEC 60749-26:2013标准为半导体器件的静电放电敏感性测试提供了一种标准化的测试方法,可以帮助制造商和用户评估器件对静电放电的敏感性,从而提高器件的可靠性和性能。
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