GB/T 34178-2017
光掩模石英玻璃基板
发布时间:2017-09-07 实施时间:2018-08-01


光掩模石英玻璃基板是一种用于半导体制造中的重要材料,主要用于制作光刻掩模。GB/T 34178-2017《光掩模石英玻璃基板》是我国对该材料的标准化管理,旨在规范光掩模石英玻璃基板的分类、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存,保证其质量和安全性。

该标准将光掩模石英玻璃基板分为两类:普通型和高透型。其中,普通型基板透过率为85%以上,高透型基板透过率为90%以上。此外,标准还规定了基板的尺寸、平整度、表面质量、化学稳定性、热稳定性等要求。

在试验方法方面,标准规定了基板的透过率、平整度、表面质量、化学稳定性、热稳定性等指标的测试方法。同时,还规定了基板的检验规则,包括外观检验、尺寸检验、透过率检验、平整度检验、表面质量检验、化学稳定性检验、热稳定性检验等。

标准还规定了基板的标志、包装、运输和贮存要求。基板应在包装前进行清洗和干燥处理,包装应符合相关标准,运输和贮存时应避免碰撞和湿度过高。

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