光学元件是光学系统中不可或缺的组成部分，其表面质量对光学系统的性能有着至关重要的影响。因此，对光学元件表面疵病的定量检测显得尤为重要。本标准提供了一种基于显微散射暗场成像法的光学元件表面疵病定量检测方法。

1. 检测设备
本标准所需的检测设备包括显微镜、散射暗场成像装置、光源、相机等。其中，显微镜应具有高分辨率、高放大倍数、高对比度等特点；散射暗场成像装置应能够产生高质量的散射暗场图像；光源应具有稳定性好、光强可调等特点；相机应具有高分辨率、高灵敏度等特点。

2. 检测方法
本标准采用显微散射暗场成像法进行光学元件表面疵病的定量检测。具体步骤如下：
（1）将待检测的光学元件放置在显微镜下，并调整好光源和相机的位置；
（2）通过散射暗场成像装置产生散射暗场图像；
（3）对散射暗场图像进行处理，得到表面疵病的分布情况；
（4）根据表面疵病的分布情况，计算出光学元件的表面疵病密度。

3. 检测程序
本标准规定了光学元件表面疵病的检测程序，包括检测前的准备工作、检测过程中的操作流程、检测结果的处理和评定等内容。检测程序应严格按照标准要求执行，以保证检测结果的准确性和可靠性。

4. 检测结果的处理和评定
本标准规定了光学元件表面疵病密度的计算方法，并对表面疵病密度的评定进行了详细说明。根据表面疵病密度的大小，将光学元件的表面疵病分为五个等级，分别为A、B、C、D、E级，其中A级为最优等级，E级为最差等级。

相关标准
GB/T 3785-2010 光学元件 表面质量
GB/T 5489-2015 光学元件 表面疵病检验方法
GB/T 19630.1-2017 光学元件 表面缺陷检测 第1部分：通用规范
GB/T 19630.2-2017 光学元件 表面缺陷检测 第2部分：显微镜检测法
GB/T 19630.3-2017 光学元件 表面缺陷检测 第3部分：散射暗场检测法