砷化镓单晶是一种重要的半导体材料，广泛应用于光电子、微电子、通信等领域。在砷化镓单晶的生产过程中，AB微缺陷是一种常见的缺陷类型，对器件性能和可靠性有着重要的影响。因此，对砷化镓单晶中的AB微缺陷进行检验是非常必要的。

本标准规定了砷化镓单晶AB微缺陷检验的要求和方法。其中，要求包括检验样品的准备、检验设备的要求、检验环境的要求等；方法包括检验样品的制备、检验设备的操作、检验结果的判定等。

在进行砷化镓单晶AB微缺陷检验时，需要使用特定的检验设备，如显微镜、光源、图像处理系统等。同时，还需要在特定的环境下进行检验，如光线充足、无尘等。在检验样品的制备过程中，需要注意样品的选择、切割、抛光等步骤，以保证样品的质量和可靠性。

在进行砷化镓单晶AB微缺陷检验时，需要根据检验结果进行判定。本标准规定了AB微缺陷的分类和判定标准，以便对检验结果进行准确的判定和报告。

总之，本标准为砷化镓单晶AB微缺陷检验提供了详细的要求和方法，对于保证砷化镓单晶的质量和可靠性具有重要的意义。

相关标准
GB/T 19519-2004 砷化镓单晶晶体缺陷检验方法
GB/T 19520-2004 砷化镓单晶晶体杂质检验方法
GB/T 19521-2004 砷化镓单晶晶体晶面取向检验方法
GB/T 19522-2004 砷化镓单晶晶体尺寸检验方法
GB/T 19523-2004 砷化镓单晶晶体表面质量检验方法