砷化镓外延层是半导体材料中的一种，其厚度的测量对于半导体器件的制造和性能评估具有重要意义。本标准规定了砷化镓外延层厚度红外干涉测量的方法，以保证测量结果的准确性和可靠性。

1.范围
本标准适用于砷化镓外延层厚度的红外干涉测量。

2.引用标准
GB/T 191-2008 计量单位和其使用方法
GB/T 8170-2008 数字表示法和圆整规则
GB/T 12528-2008 红外光谱仪术语
GB/T 17626.2-2006 电磁兼容性（EMC）-第2部分：环境-第2-4节：电磁场试验和测量（IEC 61000-4-2:2001,MOD）
GB/T 2423.10-2008 电工电子产品环境试验 第2部分：试验方法 第10节：气候试验（IEC 60068-2-78:2001,MOD）

3.术语和定义
本标准所涉及的术语和定义见GB/T 12528-2008。

4.原理
砷化镓外延层厚度的红外干涉测量是利用砷化镓外延层与衬底之间的反射和透射光的干涉现象，通过测量干涉光的光程差来计算出外延层的厚度。

5.仪器和设备
5.1 红外光谱仪
5.2 干涉仪
5.3 光源
5.4 样品台
5.5 电子天平
5.6 清洁室

6.试验步骤
6.1 样品制备
6.2 样品测量
6.3 数据处理

7.结果表示
7.1 测量结果应当按照GB/T 191-2008和GB/T 8170-2008的规定进行表示和圆整。
7.2 测量结果应当包括样品的厚度和测量误差。

8.精度和不确定度
8.1 精度
8.2 不确定度

9.试验报告
试验报告应当包括以下内容：
9.1 样品的标识和来源
9.2 试验日期和地点
9.3 试验方法和仪器设备
9.4 测量结果和误差
9.5 数据处理方法和结果
9.6 精度和不确定度评定
9.7 结论和建议

相关标准
GB/T 2423.10-2008 电工电子产品环境试验 第2部分：试验方法 第10节：气候试验（IEC 60068-2-78:2001,MOD）
GB/T 17626.2-2006 电磁兼容性（EMC）-第2部分：环境-第2-4节：电磁场试验和测量（IEC 61000-4-2:2001,MOD）
GB/T 12528-2008 红外光谱仪术语
GB/T 191-2008 计量单位和其使用方法
GB/T 8170-2008 数字表示法和圆整规则