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砷化镓外延层是一种重要的半导体材料，广泛应用于光电子器件、微波器件、高速电子器件等领域。在砷化镓外延层的制备和应用过程中，需要对其载流子浓度进行测量。电容-电压测量是一种常用的测量方法，本标准规定了砷化镓外延层载流子浓度电容-电压测量方法的要求和试验方法。

1.范围
本标准适用于砷化镓外延层载流子浓度电容-电压测量。

2.术语和定义
2.1 砷化镓外延层
指在砷化镓衬底上通过金属有机气相沉积（MOCVD）等方法生长的砷化镓薄膜。

2.2 载流子浓度
指砷化镓外延层中自由电子或空穴的浓度。

2.3 电容-电压测量
指在不同电压下测量砷化镓外延层电容的方法。

3.要求
3.1 仪器设备
电容-电压测量仪器应满足以下要求：
（1）测量范围：0.1 pF ~ 1000 pF；
（2）测量精度：±0.5%；
（3）测量速度：≤1 s/点；
（4）电源稳定性：≤0.01%。

3.2 试样制备
试样应满足以下要求：
（1）试样应为砷化镓外延层；
（2）试样应具有良好的表面平整度和光洁度；
（3）试样应具有一定的厚度，以保证测量精度。

3.3 测量方法
（1）将试样固定在测量台上，并连接电极；
（2）在不同电压下测量试样的电容值；
（3）根据测量结果计算载流子浓度。

4.试验报告
试验报告应包括以下内容：
（1）试样的标识和制备情况；
（2）测量仪器的型号和参数；
（3）测量结果和计算方法；
（4）试验过程中的注意事项和问题。

相关标准：
GB/T 19582-2004 砷化镓外延层电学性能测量方法
GB/T 19583-2004 砷化镓外延层光学性能测量方法
GB/T 19584-2004 砷化镓外延层表面形貌测量方法
GB/T 19585-2004 砷化镓外延层厚度测量方法
GB/T 19586-2004 砷化镓外延层杂质浓度测量方法