砷化镓是一种重要的半导体材料，广泛应用于光电子、微波电子、太阳能电池等领域。其中，载流子浓度是砷化镓材料的重要参数之一，对于材料的电学性能和器件性能有着重要的影响。因此，准确测量砷化镓中的载流子浓度是非常重要的。

本标准规定了一种基于等离子共振的砷化镓中载流子浓度测量方法。该方法利用等离子体共振的特性，通过测量砷化镓样品中的等离子体共振频率和宽度，计算出载流子浓度。该方法具有非接触、无损、高精度等优点，适用于砷化镓单晶、外延片、薄膜等样品的载流子浓度测量。

本标准规定了测量装置的基本要求，包括等离子体激励源、微波谐振腔、样品台、探测器等。同时，还规定了测量程序的具体步骤，包括样品的制备、测量条件的设置、数据采集和处理等。在数据处理方面，本标准规定了载流子浓度的计算公式和结果表示方法。

相关标准
GB/T 6908-2017 半导体材料中载流子浓度的测量方法
GB/T 6909-2017 半导体材料中杂质浓度的测量方法
GB/T 6910-2017 半导体材料中杂质分布的测量方法
GB/T 6911-2017 半导体材料中电阻率的测量方法
GB/T 6912-2017 半导体材料中禁带宽度的测量方法