微电子技术用贵金属浆料是微电子技术中常用的一种材料,用于制作电路连接线、电极等。分辨率是贵金属浆料的一个重要性能指标,它反映了贵金属浆料在微电子器件制造中的精度和可靠性。因此,分辨率测定是贵金属浆料质量控制的重要环节。
本标准规定了微电子技术用贵金属浆料分辨率测定的测试方法。该方法采用光学显微镜观察贵金属浆料的图像,通过图像处理软件测量贵金属浆料的分辨率。具体步骤如下:
1. 准备样品。将贵金属浆料均匀涂覆在玻璃基片上,待其干燥后,用光学显微镜观察其图像。
2. 调整光学显微镜。将光学显微镜调整至最佳成像状态,包括调整焦距、亮度、对比度等参数。
3. 拍摄图像。用数码相机或其他设备拍摄贵金属浆料的图像,并保存为数字图像文件。
4. 图像处理。使用图像处理软件对数字图像进行处理,包括去噪、增强对比度等操作。
5. 测量分辨率。在图像处理软件中,使用线性测量工具测量贵金属浆料的分辨率,即贵金属浆料中最小可分辨的线条宽度。
6. 计算结果。根据测量结果计算贵金属浆料的分辨率,并记录测量数据和计算结果。
本标准还规定了贵金属浆料分辨率测定的技术要求和测试结果的处理方法。测试人员应具备一定的光学显微镜操作和图像处理技能,确保测试结果的准确性和可靠性。
相关标准
- GB/T 17473.1-2008 微电子技术用贵金属浆料测试方法 一般规定
- GB/T 17473.2-2008 微电子技术用贵金属浆料测试方法 导电性能测定
- GB/T 17473.3-2008 微电子技术用贵金属浆料测试方法 粘结强度测定
- GB/T 17473.4-2008 微电子技术用贵金属浆料测试方法 热稳定性测定
- GB/T 17473.5-2008 微电子技术用贵金属浆料测试方法 耐腐蚀性测定