GB/T 17473.3-2008
微电子技术用贵金属浆料测试方法 方阻测定
发布时间:2008-03-31 实施时间:2008-09-01
微电子技术是一种高科技领域,其应用范围广泛,包括计算机、通信、医疗、军事等领域。贵金属浆料是微电子技术中常用的材料之一,其主要成分为金、银、铜等贵金属。方阻是贵金属浆料的一个重要参数,它是指单位面积内电阻的大小。方阻的大小直接影响到贵金属浆料的导电性能,因此方阻测定是贵金属浆料测试中的一个重要环节。
GB/T 17473.3-2008标准规定了微电子技术用贵金属浆料方阻测定的测试方法。该标准主要包括以下内容:
1. 试样的制备:试样的制备应符合相关要求,包括试样的形状、尺寸、表面处理等。
2. 测量仪器的选择和校准:测量仪器应选择合适的仪器,并进行校准,以确保测量结果的准确性。
3. 测量方法:测量方法应符合相关要求,包括测量电路的设计、测量电流和电压的选择、测量时间的确定等。
4. 数据处理:数据处理应符合相关要求,包括数据的记录、计算、分析等。
5. 结果的表示:结果的表示应符合相关要求,包括方阻值的计算、单位的表示等。
本标准的实施可以提高贵金属浆料方阻测定的准确性和可靠性,为微电子技术的发展提供有力的支持。
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