高纯氧化铟是一种重要的半导体材料，广泛应用于光电子、电子、信息、通信等领域。为了保证高纯氧化铟的质量，需要对其中的杂质元素进行分析。本标准规定了一种测定高纯氧化铟中铝、铁、铜、锌、镉、铅和铊量的方法，即电感耦合等离子体质谱法。

该方法的主要步骤包括样品的制备、电感耦合等离子体质谱仪的操作和数据处理。样品的制备需要将高纯氧化铟样品溶解后，加入一定量的内标元素，然后进行稀释和过滤，最终得到待测样品。电感耦合等离子体质谱仪的操作包括设置仪器参数、进行质谱扫描和数据采集等步骤。数据处理则包括质谱信号的峰面积计算、内标法计算待测元素的含量等步骤。

本标准的实施可以保证高纯氧化铟中铝、铁、铜、锌、镉、铅和铊元素的准确测定，为高纯氧化铟的质量控制提供了可靠的分析方法。

相关标准
GB/T 23364.1-2009 高纯氧化铟化学分析方法 第1部分：总量的测定 火焰原子吸收光谱法
GB/T 23364.2-2009 高纯氧化铟化学分析方法 第2部分：杂质元素的测定 石墨炉原子吸收光谱法
GB/T 23364.3-2009 高纯氧化铟化学分析方法 第3部分：杂质元素的测定 电感耦合等离子体发射光谱法
GB/T 23364.5-2009 高纯氧化铟化学分析方法 第5部分：杂质元素的测定 电感耦合等离子体质谱法
GB/T 23364.6-2009 高纯氧化铟化学分析方法 第6部分：杂质元素的测定 电感耦合等离子体质谱法