GB/T 23362.4-2009
高纯氢氧化铟化学分析方法 第4部分:铝、铁、铜、锌、镉、铅和铊量的测定 电感耦合等离子体质谱法
发布时间:2009-03-19 实施时间:2010-01-01
高纯氢氧化铟是一种重要的半导体材料,广泛应用于光电子、电子学、信息技术等领域。为了保证高纯氢氧化铟的质量,需要对其中的杂质元素进行分析。本标准提供了一种测定高纯氢氧化铟中铝、铁、铜、锌、镉、铅和铊量的方法,即电感耦合等离子体质谱法。
该方法的原理是将高纯氢氧化铟样品溶解后,加入内标元素,然后使用电感耦合等离子体质谱仪进行分析。在质谱仪中,样品中的元素被离子化并加速到高速运动,然后通过磁场和电场进行分离和检测。通过测量样品中元素的离子信号强度,可以计算出其浓度。
本标准详细描述了样品的制备、仪器的操作、分析条件的设置、数据处理等方面的要求。其中,样品的制备需要注意避免污染和损失,仪器的操作需要保证稳定性和准确性,分析条件的设置需要根据具体情况进行优化,数据处理需要进行校正和质量控制。
本标准适用于高纯氢氧化铟中铝、铁、铜、锌、镉、铅和铊量的测定,适用范围为0.001~10 μg/g。该方法具有灵敏度高、准确性好、重现性高等优点,可以满足高纯氢氧化铟质量控制的需要。
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