电子薄膜是一种重要的电子材料,广泛应用于电子、光电、信息、通信等领域。而高纯铝及铝合金溅射靶材是制备电子薄膜的重要原材料之一。为了保证电子薄膜的质量和稳定性,需要对高纯铝及铝合金溅射靶材进行规范化管理和控制。GB/T 29658-2013《电子薄膜用高纯铝及铝合金溅射靶材》就是为此而制定的标准。
本标准主要包括以下内容:
1. 分类和命名
本标准将高纯铝及铝合金溅射靶材分为三类:高纯铝靶材、铝合金靶材和特殊合金靶材。同时,对于不同的靶材,还规定了相应的命名规则。
2. 要求
本标准对高纯铝及铝合金溅射靶材的化学成分、杂质含量、物理性能、表面质量、尺寸和形状等方面都做出了详细的要求。其中,化学成分和杂质含量是影响靶材质量的重要因素,物理性能和表面质量则直接关系到靶材的使用效果。
3. 试验方法
本标准规定了高纯铝及铝合金溅射靶材的化学成分、杂质含量、物理性能、表面质量、尺寸和形状等方面的试验方法。这些试验方法包括化学分析、光谱分析、金相分析、机械性能测试、表面检测等。
4. 检验规则
本标准对高纯铝及铝合金溅射靶材的检验规则做出了详细的规定。其中,包括检验方法、检验项目、检验标准、检验结果判定等方面的内容。
5. 标志、包装、运输和贮存
本标准规定了高纯铝及铝合金溅射靶材的标志、包装、运输和贮存要求。这些要求旨在保证靶材在运输和贮存过程中不受损坏和污染,以确保其质量和稳定性。
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