GB/T 30857-2014
蓝宝石衬底片厚度及厚度变化测试方法
发布时间:2014-07-24 实施时间:2015-04-01
蓝宝石衬底片是一种高质量的衬底材料,广泛应用于半导体、光电子、微电子等领域。蓝宝石衬底片的厚度及厚度变化是影响其性能的重要因素之一,因此需要对其进行测试。
本标准适用于蓝宝石衬底片的厚度及厚度变化测试。测试方法包括机械测量法和光学测量法。
机械测量法:使用机械测量仪器对蓝宝石衬底片进行测量,包括厚度测量和厚度变化测量。厚度测量时,应在蓝宝石衬底片的中心位置和四个角落位置各测量一次,取平均值作为该片蓝宝石衬底片的厚度。厚度变化测量时,应在蓝宝石衬底片的中心位置和四个角落位置各测量一次,取平均值作为该片蓝宝石衬底片的厚度变化。
光学测量法:使用光学测量仪器对蓝宝石衬底片进行测量,包括厚度测量和厚度变化测量。厚度测量时,应在蓝宝石衬底片的中心位置和四个角落位置各测量一次,取平均值作为该片蓝宝石衬底片的厚度。厚度变化测量时,应在蓝宝石衬底片的中心位置和四个角落位置各测量一次,取平均值作为该片蓝宝石衬底片的厚度变化。
本标准规定了机械测量法和光学测量法的具体操作步骤和测量要求,以确保测试结果的准确性和可靠性。
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