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氮化物LED是一种新型的半导体光源，具有高效、节能、环保等优点，被广泛应用于照明、显示、通信等领域。而LED外延片是LED芯片的重要组成部分，其质量直接影响LED器件的性能和寿命。因此，对LED外延片的质量进行准确的测试和评价是非常重要的。

氮化物LED外延片内量子效率是评价LED外延片质量的重要指标之一，它反映了LED外延片中发光材料的发光效率。GB/T 30655-2014《氮化物LED外延片内量子效率测试方法》是我国针对氮化物LED外延片内量子效率测试制定的标准，下面将对该标准进行介绍。

1. 测试设备
氮化物LED外延片内量子效率测试需要使用光谱仪、反射镜、样品台、光源等设备。其中，光谱仪是测试的核心设备，用于测量样品的光谱分布，反射镜用于反射光线，样品台用于放置样品，光源用于提供光源。

2. 测试原理
氮化物LED外延片内量子效率测试的原理是利用光谱仪测量样品的光谱分布，然后计算出样品的内量子效率。具体来说，测试时先将光源照射到样品上，样品吸收光线后发生发光，发光的光谱分布被光谱仪测量，然后根据样品的吸收系数、反射系数、透射系数等参数计算出样品的内量子效率。

3. 测试步骤
氮化物LED外延片内量子效率测试的步骤如下：
（1）准备测试设备，包括光谱仪、反射镜、样品台、光源等。
（2）将样品放置在样品台上，并将光源照射到样品上。
（3）使用光谱仪测量样品的光谱分布。
（4）根据样品的吸收系数、反射系数、透射系数等参数计算出样品的内量子效率。

4. 测试结果处理
氮化物LED外延片内量子效率测试的结果应该包括样品的光谱分布图和内量子效率值。其中，光谱分布图应该包括样品的发光峰值波长、半高宽等参数，内量子效率值应该是一个百分比值，表示样品中发光材料的发光效率。

相关标准：
GB/T 24824-2018 氮化物外延片表面缺陷检测方法
GB/T 24825-2018 氮化物外延片厚度测量方法
GB/T 24826-2018 氮化物外延片杂质浓度测量方法
GB/T 24827-2018 氮化物外延片晶格缺陷检测方法
GB/T 24828-2018 氮化物外延片应力测量方法