GB/T 31352-2014
蓝宝石衬底片翘曲度测试方法
发布时间:2014-12-31 实施时间:2015-09-01


蓝宝石衬底片是一种高质量的衬底材料,广泛应用于半导体、光电子、微电子等领域。蓝宝石衬底片的翘曲度是影响其质量的一个重要指标,因此需要对其进行测试。

本标准适用于蓝宝石衬底片的翘曲度测试。测试方法采用光学干涉法,通过测量蓝宝石衬底片的表面高度差来计算其翘曲度。

测试前需要对蓝宝石衬底片进行处理,包括去除表面污染物、检查表面缺陷等。测试时需要使用专业的测试仪器,如干涉仪、显微镜等。测试过程中需要注意保持测试环境的稳定性,避免外界因素对测试结果的影响。

测试结果应该按照一定的格式进行记录,包括测试日期、测试人员、测试仪器型号、测试条件等信息。测试结果应该经过统计分析,得出平均值和标准差等指标。

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