GB/T 17170-2015
半绝缘砷化镓单晶深施主EL2浓度红外吸收测试方法
发布时间:2015-12-10 实施时间:2016-07-01
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半绝缘砷化镓单晶是一种重要的半导体材料,广泛应用于光电子器件、微波器件、高功率器件等领域。其中,深施主EL2缺陷是半绝缘砷化镓单晶中的一种重要缺陷,其浓度的大小直接影响到材料的电学性能和光学性能。因此,准确测定半绝缘砷化镓单晶中EL2浓度是非常重要的。
GB/T 17170-2015 标准规定了半绝缘砷化镓单晶深施主EL2浓度的红外吸收测试方法。该方法基于半导体材料中的光学吸收现象,通过测量样品在红外光谱范围内的吸收强度,计算出样品中EL2浓度的大小。
该标准主要包括以下内容:
1. 适用范围:本标准适用于半绝缘砷化镓单晶深施主EL2浓度的红外吸收测试。
2. 仪器设备:本标准规定了测试所需的仪器设备,包括红外光谱仪、样品室、样品支架等。
3. 样品制备:本标准规定了样品的制备方法,包括样品的切割、抛光、清洗等步骤。
4. 测试方法:本标准详细描述了测试方法,包括样品的安装、测试条件的设置、测试数据的处理等。
5. 数据处理:本标准规定了测试数据的处理方法,包括吸收谱的处理、EL2浓度的计算等。
6. 报告内容:本标准规定了测试报告的内容,包括样品信息、测试条件、测试结果等。
通过该标准的实施,可以准确测定半绝缘砷化镓单晶中EL2浓度的大小,为半导体材料的研究和应用提供了重要的技术支持。
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