GB/T 19199-2015
半绝缘砷化镓单晶中碳浓度的红外吸收测试方法
发布时间:2015-12-10 实施时间:2016-07-01
半绝缘砷化镓单晶是一种重要的半导体材料,广泛应用于光电子、微电子、通信等领域。其中碳是一种常见的杂质元素,会对半导体器件的性能产生影响。因此,准确测量半绝缘砷化镓单晶中碳的浓度是非常重要的。
本标准规定了半绝缘砷化镓单晶中碳浓度的红外吸收测试方法。该方法基于红外吸收光谱技术,通过测量样品在特定波长范围内的吸收光强,计算出样品中碳的浓度。
本标准适用于半绝缘砷化镓单晶中碳浓度的测量。测试前需要对样品进行预处理,包括样品的制备、清洗和干燥等步骤。测试时需要使用红外吸收光谱仪,并按照标准要求进行测试条件的设置和数据处理。
本标准的实施可以提高半绝缘砷化镓单晶中碳浓度的测量准确度和可靠性,为半导体器件的制备和性能优化提供重要的技术支持。
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