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一、范围
本标准适用于氮化镓单晶衬底片x射线双晶摇摆曲线半高宽的测试。

二、引用标准
GB/T 32188-2015 氮化镓单晶衬底片x射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法

三、术语和定义
3.1 氮化镓单晶衬底片
指用于制备氮化镓外延片的单晶衬底片。

3.2 x射线
指波长在0.01~10纳米范围内的电磁波。

3.3 双晶摇摆曲线
指在x射线照射下，晶体中的衍射峰随入射角度的变化而移动的曲线。

3.4 半高宽
指双晶摇摆曲线上衍射峰的半峰宽。

四、测试方法
4.1 仪器设备
使用双晶摇摆仪进行测试。

4.2 样品制备
将氮化镓单晶衬底片切割成尺寸为10mm×10mm×0.5mm的样品。

4.3 测试步骤
4.3.1 将样品放置在双晶摇摆仪上，调整入射角度和出射角度。
4.3.2 开始测试，记录双晶摇摆曲线。
4.3.3 计算衍射峰的半高宽。

五、测试结果的表示
测试结果应包括样品的标识、测试日期、测试人员、测试条件和测试结果。

六、测试报告
测试报告应包括样品的标识、测试日期、测试人员、测试条件、测试结果和测试结论。

相关标准：
GB/T 32189-2015 氮化镓外延片x射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法
GB/T 32190-2015 氮化镓外延片x射线倾斜摇摆曲线半高宽测试方法
GB/T 32191-2015 氮化镓外延片x射线洛伦兹曲线半高宽测试方法
GB/T 32192-2015 氮化镓外延片x射线反射高分辨率测试方法
GB/T 32193-2015 氮化镓外延片x射线双晶摇摆曲线测量误差的评定方法