一、范围
本标准规定了氮化镓单晶衬底表面粗糙度的原子力显微镜检验法。

本标准适用于氮化镓单晶衬底表面粗糙度的原子力显微镜检验。

二、引用标准
GB/T 12528-2008 金属材料表面粗糙度参数及其测量方法
GB/T 18043-2008 原子力显微镜术语
GB/T 32190-2015 氮化镓单晶衬底表面缺陷的原子力显微镜检验法

三、术语和定义
本标准所涉及的术语和定义见GB/T 18043-2008。

四、检验仪器和设备
4.1 原子力显微镜
4.2 标准样品

五、检验方法
5.1 标准样品的检验
5.1.1 标准样品的选择
应选择与被检样品相同或相似的标准样品进行检验。
5.1.2 标准样品的检验方法
按照GB/T 12528-2008的规定，测量标准样品的表面粗糙度参数Ra、Rq、Rz、Rt和Rp等参数。
5.1.3 标准样品的评定
标准样品的表面粗糙度参数应符合GB/T 32190-2015的规定。

5.2 被检样品的检验
5.2.1 被检样品的检验方法
使用原子力显微镜对被检样品的表面进行扫描，测量表面粗糙度参数Ra、Rq、Rz、Rt和Rp等参数。
5.2.2 被检样品的评定
被检样品的表面粗糙度参数应符合GB/T 32190-2015的规定。

六、报告内容
检验报告应包括以下内容：
6.1 检验日期和地点；
6.2 被检样品的名称、规格、数量；
6.3 检验方法；
6.4 检验结果；
6.5 结论；
6.6 检验人员签名。

七、标准的引用文件
GB/T 12528-2008 金属材料表面粗糙度参数及其测量方法
GB/T 18043-2008 原子力显微镜术语
GB/T 32190-2015 氮化镓单晶衬底表面缺陷的原子力显微镜检验法

相关标准
GB/T 32190-2015 氮化镓单晶衬底表面缺陷的原子力显微镜检验法
GB/T 12528-2008 金属材料表面粗糙度参数及其测量方法
GB/T 18043-2008 原子力显微镜术语
GB/T 32191-2015 氮化镓单晶衬底表面光学检验方法
GB/T 32192-2015 氮化镓单晶衬底表面化学成分分析方法