GB/T 34504-2017
蓝宝石抛光衬底片表面残留金属元素测量方法
发布时间:2017-10-14 实施时间:2018-05-01
蓝宝石抛光衬底片是一种用于制备半导体器件的重要材料,其表面残留金属元素的含量对器件性能有着重要的影响。因此,对蓝宝石抛光衬底片表面残留金属元素的测量是非常必要的。
GB/T 34504-2017《蓝宝石抛光衬底片表面残留金属元素测量方法》是一项针对蓝宝石抛光衬底片表面残留金属元素测量的标准。该标准规定了蓝宝石抛光衬底片表面残留金属元素的测量方法,包括样品的制备、测量仪器的选择和使用、测量条件的设定、测量结果的处理等方面。
该标准要求使用电感耦合等离子体质谱仪(ICP-MS)或电感耦合等离子体发射光谱仪(ICP-OES)进行测量。在测量前,需要对样品进行预处理,包括清洗、干燥等步骤。在测量时,需要设置合适的仪器参数和测量条件,以保证测量结果的准确性和可靠性。测量结果需要进行数据处理和分析,以得出样品表面残留金属元素的含量。
该标准的实施可以有效地保证蓝宝石抛光衬底片表面残留金属元素的测量准确性和可靠性,为半导体器件的制备提供了重要的技术支持。
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