1.范围
本标准规定了氮化镓衬底片载流子浓度的测试方法,采用拉曼光谱法进行测试。本标准适用于氮化镓衬底片载流子浓度的测试。
2.引用标准
GB/T 3785.1-2010 拉曼光谱术.第1部分:一般原理
3.术语和定义
本标准中使用的术语和定义与GB/T 3785.1-2010相同。
4.测试原理
氮化镓衬底片的载流子浓度可以通过拉曼光谱法进行测试。在测试过程中,通过激光照射样品,使样品中的氮化镓晶格振动,产生拉曼散射光谱。根据拉曼光谱中的峰位和峰形,可以确定样品中的载流子浓度。
5.测试方法
5.1 仪器
采用波长为532nm的激光器,具有高分辨率的拉曼光谱仪。
5.2 样品制备
将氮化镓衬底片切割成适当大小的样品,清洗干净并晾干。
5.3 测试步骤
1. 将样品放置在拉曼光谱仪的样品台上。
2. 调整激光器的功率和聚焦位置,使激光照射到样品表面。
3. 收集样品的拉曼光谱,并记录峰位和峰形。
4. 根据拉曼光谱中的峰位和峰形,计算出样品中的载流子浓度。
6.测试结果的表示
测试结果应该包括样品的载流子浓度和测试方法。
7.测试不确定度
测试不确定度应该根据GB/T 3785.1-2010中的方法进行计算。
8.质量控制
测试过程中应该进行质量控制,包括样品的制备、仪器的校准和测试过程中的重复测试。
9.报告
测试报告应该包括样品的信息、测试方法、测试结果和测试不确定度。
相关标准
GB/T 3785.1-2010 拉曼光谱术.第1部分:一般原理
GB/T 3785.2-2010 拉曼光谱术.第2部分:仪器
GB/T 3785.3-2010 拉曼光谱术.第3部分:样品制备
GB/T 3785.4-2010 拉曼光谱术.第4部分:数据处理
GB/T 3785.5-2010 拉曼光谱术.第5部分:应用