GB/T 1557-2018
硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法
发布时间:2018-09-17 实施时间:2019-06-01


硅晶体是半导体材料中应用最广泛的一种,其性能的优劣直接影响到半导体器件的性能。硅晶体中间隙氧含量是硅晶体质量的重要指标之一,其含量的高低直接影响到硅晶体的电学性能和机械性能。因此,准确测量硅晶体中间隙氧含量对于保证硅晶体质量具有重要意义。

GB/T 1557-2018 硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法是一项用于测量硅晶体中间隙氧含量的标准。该标准规定了硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法,包括样品制备、红外吸收光谱仪的使用、数据处理等方面的内容。

该标准要求在测量硅晶体中间隙氧含量时,应先将样品制备好,制备过程中应注意避免样品受到污染。制备好的样品应放置在红外吸收光谱仪中进行测量,测量时应注意光谱仪的参数设置和校准。测量完成后,应对数据进行处理,得出硅晶体中间隙氧含量的测量结果。

该标准的实施可以保证硅晶体中间隙氧含量的准确测量,为硅晶体质量的控制提供了重要的技术支持。

相关标准
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