电子级多晶硅是半导体材料中的一种，广泛应用于太阳能电池、集成电路等领域。其中，基体金属杂质是影响电子级多晶硅质量的重要因素之一。因此，准确测定电子级多晶硅中基体金属杂质含量对于保证电子级多晶硅质量至关重要。

GB/T 37049-2018标准规定了电感耦合等离子体质谱法测定电子级多晶硅中基体金属杂质含量的方法。该方法通过电感耦合等离子体质谱仪对电子级多晶硅样品进行分析，测定其中的基体金属杂质含量。

具体操作步骤如下：

1. 样品制备：将电子级多晶硅样品研磨成粉末，并加入适量的内标元素。

2. 样品处理：将样品粉末加入高纯度的氢气中，在高温高压条件下进行处理，使样品中的基体金属杂质转化为气态离子。

3. 质谱分析：将处理后的样品气态离子通过电感耦合等离子体质谱仪进行分析，测定其中的基体金属杂质含量。

4. 数据处理：根据质谱分析结果，计算出样品中的基体金属杂质含量。

该方法具有灵敏度高、准确度高、重现性好等优点，适用于电子级多晶硅中基体金属杂质含量的测定。

相关标准
GB/T 37050-2018 电子级多晶硅中杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法
GB/T 37051-2018 电子级多晶硅中杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法
GB/T 37052-2018 电子级多晶硅中杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法
GB/T 37053-2018 电子级多晶硅中杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法
GB/T 37054-2018 电子级多晶硅中杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法