：
硅片和硅锭是半导体材料中的重要组成部分，其载流子复合寿命是评价其质量的重要指标之一。本标准规定了硅片和硅锭载流子复合寿命的测试方法，采用非接触微波反射光电导衰减法进行测试。

测试前的准备工作包括：样品的制备、样品的清洗、样品的热处理、样品的光学特性测试等。测试时，将样品放置在测试装置中，通过微波信号激励样品，测量样品的反射光电导衰减曲线，从而得到样品的载流子复合寿命。

本标准的测试方法具有以下特点：

1. 非接触测试，不会对样品造成损伤；
2. 测试精度高，可测量不同类型的硅片和硅锭；
3. 测试速度快，可在短时间内完成测试。

本标准的实施有助于提高硅片和硅锭的质量，保证其在半导体器件中的应用效果。

相关标准：
GB/T 26067-2018 硅片和硅锭载流子复合寿命的测试 电容电压法
GB/T 26069-2018 硅片和硅锭载流子复合寿命的测试 电子束诱导荧光法
GB/T 26070-2018 硅片和硅锭载流子复合寿命的测试 电子束诱导电导法
GB/T 26071-2018 硅片和硅锭载流子复合寿命的测试 电子束诱导电容法
GB/T 26072-2018 硅片和硅锭载流子复合寿命的测试 电子束诱导电磁法