靶材是指用于制备薄膜、涂层、电子元器件等领域的材料,其质量和性能直接影响到最终产品的质量和性能。靶材的技术成熟度评价是指对靶材的研发、生产、应用等方面进行评价,以确定其技术成熟度水平。GB/T 39157-2020标准规定了靶材技术成熟度等级划分及定义的基本要求、原则、方法和程序,适用于靶材技术成熟度评价。
本标准将靶材技术成熟度分为5个等级,分别为:A级、B级、C级、D级和E级。其中,A级表示技术成熟度最高,E级表示技术成熟度最低。各等级的定义如下:
A级:靶材技术成熟度非常高,已经在工业化生产中得到广泛应用,具有稳定的性能和高的可靠性。
B级:靶材技术成熟度较高,已经在小批量生产中得到应用,具有较好的性能和可靠性。
C级:靶材技术成熟度一般,已经在实验室中得到验证,但还需要进一步的研发和改进,以提高其性能和可靠性。
D级:靶材技术成熟度较低,还处于研发阶段,需要进行大量的实验和测试,以确定其性能和可靠性。
E级:靶材技术成熟度非常低,还处于概念阶段,需要进行大量的理论研究和实验验证,以确定其可行性和潜在性。
本标准规定了靶材技术成熟度评价的基本原则和方法,包括技术成熟度评价的基本要素、评价指标、评价方法和评价结果的表达方式等。其中,评价指标包括靶材的物理、化学、结构、性能、可靠性等方面的指标,评价方法包括实验室测试、小批量生产测试、工业化生产测试等方法。
本标准适用于靶材技术成熟度评价,可用于靶材的研发、生产、应用等方面的评价。同时,本标准也可作为靶材技术成熟度评价的参考标准,以提高靶材的质量和性能,促进靶材产业的发展。
相关标准
- GB/T 38787-2020 靶材的制备方法
- GB/T 38788-2020 靶材的物理性能测试方法
- GB/T 38789-2020 靶材的化学性能测试方法
- GB/T 38790-2020 靶材的结构性能测试方法
- GB/T 38791-2020 靶材的可靠性测试方法