氮化镓单晶衬底片是一种重要的半导体材料，广泛应用于LED、LD、太阳能电池等领域。晶面曲率半径是氮化镓单晶衬底片的重要参数之一，对于提高器件的性能和稳定性具有重要意义。本标准旨在规定氮化镓单晶衬底片晶面曲率半径的测试方法，以保证测试结果的准确性和可靠性。

1.范围
本标准适用于氮化镓单晶衬底片晶面曲率半径的测试。

2.引用标准
GB/T 8170 数字表示法和圆整规则
GB/T 12536 晶体衬底片尺寸和公差
GB/T 13926.1 晶体衬底片表面缺陷检验方法 第1部分：光学检验
GB/T 13926.2 晶体衬底片表面缺陷检验方法 第2部分：机械检验

3.术语和定义
3.1 晶面曲率半径
晶面曲率半径是指晶体表面在某一点处的曲率半径。

3.2 测试点
测试点是指在晶体表面选取的用于测试晶面曲率半径的点。

3.3 测试面
测试面是指晶体表面上用于测试晶面曲率半径的区域。

4.测试仪器
4.1 曲率半径测试仪
曲率半径测试仪应具有以下性能：
（1）测量范围：0.1 mm ~ 100 mm；
（2）测量精度：±0.1%；
（3）测量时间：≤10 s。

4.2 光学显微镜
光学显微镜应具有以下性能：
（1）放大倍数：≥100倍；
（2）分辨率：≤1 μm；
（3）视场直径：≥5 mm。

5.测试方法
5.1 样品准备
样品应符合GB/T 12536的要求，并经过GB/T 13926.1和GB/T 13926.2的检验。

5.2 测试点选取
在样品表面选取至少5个测试点，测试点应均匀分布在样品表面。

5.3 测试面确定
测试面应包含所有测试点，并且测试面应尽可能大。

5.4 测试
将样品放置在曲率半径测试仪上，调整测试仪器使测试点位于测试仪器的测量范围内。按下测试按钮，等待测试仪器完成测量。重复以上步骤，对所有测试点进行测试。

5.5 测试结果处理
计算所有测试点的曲率半径平均值，并按照GB/T 8170的规定进行圆整。

6.报告内容
测试报告应包括以下内容：
（1）样品名称、规格、批号；
（2）测试日期；
（3）测试仪器型号、编号；
（4）测试点位置；
（5）测试结果及其圆整值；
（6）测试人员签名。

相关标准
GB/T 12536 晶体衬底片尺寸和公差
GB/T 13926.1 晶体衬底片表面缺陷检验方法 第1部分：光学检验
GB/T 13926.2 晶体衬底片表面缺陷检验方法 第2部分：机械检验
GB/T 8170 数字表示法和圆整规则
GB/T 41752-2022 氮化镓单晶衬底片晶面平整度测试方法