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金属锗是一种重要的半导体材料，广泛应用于电子、光电、太阳能等领域。金属锗的纯度对其性能有着重要的影响，因此需要对其进行化学分析，以确定其中的杂质元素含量。本标准规定了一种辉光放电质谱法测定金属锗中痕量杂质元素的方法。

辉光放电质谱法是一种常用的化学分析方法，其原理是将样品放入高频电场中，使其发生放电，产生等离子体，然后利用质谱仪对等离子体进行分析。该方法具有灵敏度高、分析速度快、准确度高等优点，适用于痕量元素的测定。

本标准规定了金属锗中痕量杂质元素的测定方法，包括样品的制备、仪器的操作、质谱分析等内容。其中，样品的制备包括样品的预处理、溶解和稀释等步骤。仪器的操作包括等离子体的产生、质谱仪的调试和分析等步骤。质谱分析包括质谱仪的参数设置、质谱图的解析和数据处理等步骤。

本标准的实施可以保证金属锗中痕量杂质元素的准确测定，为金属锗的生产和应用提供技术支持。

相关标准：
GB/T 37211.1-2022 金属锗化学分析方法 第1部分:总量元素的测定 火焰原子吸收光谱法
GB/T 37211.2-2022 金属锗化学分析方法 第2部分:总量元素的测定 电感耦合等离子体质谱法
GB/T 37211.4-2022 金属锗化学分析方法 第4部分:痕量杂质元素的测定 电感耦合等离子体质谱法
GB/T 37211.5-2022 金属锗化学分析方法 第5部分:痕量杂质元素的测定 石墨炉原子吸收光谱法
GB/T 37211.6-2022 金属锗化学分析方法 第6部分:痕量杂质元素的测定 恒流电解-电感耦合等离子体质谱法