电子探针显微分析是一种常用的材料成分分析方法，可以对样品进行定性和定量分析。其中，波谱法定性点分析是一种常用的定性分析方法，可以通过比较样品的能谱图和标准库中的能谱图，确定样品中元素的种类和含量。本标准就是针对波谱法定性点分析电子探针显微分析的方法和步骤进行规定的。

1. 样品制备
样品制备是电子探针显微分析的重要步骤之一，样品的制备质量直接影响到分析结果的准确性和可靠性。样品制备应根据不同的材料类型和分析要求进行选择，常见的样品制备方法包括切片、研磨、抛光、腐蚀等。在样品制备过程中，应注意避免样品表面的污染和损伤，以保证分析结果的准确性。

2. 仪器操作
电子探针显微分析仪是进行波谱法定性点分析的主要仪器，其操作步骤包括样品的放置、电子束的调节、能谱图的采集等。在进行波谱法定性点分析时，应注意以下几点：

（1）样品的放置应保证样品表面与电子探针的距离适当，避免电子束的散射和样品表面的污染。

（2）电子束的调节应根据样品的性质和分析要求进行选择，常见的电子束参数包括加速电压、电流、聚焦、扫描等。

（3）能谱图的采集应根据样品的性质和分析要求进行选择，常见的能谱图参数包括能量范围、计数时间、分辨率等。

3. 数据处理
数据处理是波谱法定性点分析的最后一步，其目的是对采集到的能谱图进行处理和分析，确定样品中元素的种类和含量。数据处理的主要步骤包括能谱图的峰识别、峰面积的计算、元素的鉴定等。在进行数据处理时，应注意以下几点：

（1）能谱图的峰识别应根据样品的性质和分析要求进行选择，常见的峰识别方法包括手动识别、自动识别等。

（2）峰面积的计算应根据样品的性质和分析要求进行选择，常见的峰面积计算方法包括直接积分法、拟合法等。

（3）元素的鉴定应根据样品的性质和分析要求进行选择，常见的元素鉴定方法包括比对法、定量法等。

相关标准
GB/T 20123-2006 电子探针显微分析方法
GB/T 20124-2006 电子探针显微分析定量分析方法
GB/T 20125-2006 电子探针显微分析数据处理方法
GB/T 20126-2006 电子探针显微分析仪器性能检验方法
GB/T 20127-2006 电子探针显微分析仪器使用和维护规范