二次离子质谱是一种表面化学分析技术，可以对材料表面进行化学成分和结构的分析。在二次离子质谱分析中，深度分辨参数是一个重要的指标，它反映了分析仪器对样品表面深度的分辨能力。深度分辨参数越小，说明分析仪器对样品表面深度的分辨能力越好。

本标准提出了一种用多δ层参考物质评估二次离子质谱深度分辨参数的方法。该方法基于多δ层参考物质的理论模型，通过对多δ层参考物质的二次离子质谱分析，可以得到不同深度处的离子信号强度分布曲线。根据这些曲线，可以计算出深度分辨参数。

具体实施方法如下：

1. 选择多δ层参考物质。多δ层参考物质应具有以下特点：化学成分均匀、表面平整、深度分布规律、离子信号强度适中。

2. 制备多δ层参考物质。制备多δ层参考物质的方法应该能够控制其深度分布规律。常用的方法包括离子注入、离子束淬炼、分子束外延等。

3. 进行二次离子质谱分析。在二次离子质谱分析中，应该选择合适的离子源、离子束能量和扫描范围，以保证得到准确的离子信号强度分布曲线。

4. 计算深度分辨参数。根据多δ层参考物质的离子信号强度分布曲线，可以计算出深度分辨参数。具体计算方法详见本标准。

本标准的实施可以提高二次离子质谱分析的深度分辨能力，为表面化学分析提供更加准确的数据支持。

相关标准
GB/T 22570-2008 表面化学分析 二次离子质谱 深度分辨参数的测定方法
GB/T 22571-2008 表面化学分析 二次离子质谱 深度分辨参数的评价方法
GB/T 22573-2008 表面化学分析 二次离子质谱 深度分辨参数的校准方法
GB/T 22574-2008 表面化学分析 二次离子质谱 深度分辨参数的报告格式
GB/T 22575-2008 表面化学分析 二次离子质谱 深度分辨参数的不确定度评定方法