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三氟化硼是一种无色、无味、无毒的气体，具有优异的绝缘性能和化学稳定性，广泛应用于电子工业中的等离子体刻蚀、化学气相沉积、离子注入等工艺中。为了保证电子工业生产过程中的安全性和稳定性，GB/T 14603-2009《电子工业用气体 三氟化硼》标准被制定出来。

该标准规定了三氟化硼的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存等方面的内容。其中，技术要求包括了三氟化硼的纯度、杂质含量、水分含量、氧含量、氮含量、氢含量等指标。试验方法包括了纯度测定、杂质含量测定、水分含量测定、氧含量测定、氮含量测定、氢含量测定等方法。检验规则包括了外观检查、纯度检查、杂质含量检查、水分含量检查、氧含量检查、氮含量检查、氢含量检查等规则。标志包括了产品名称、生产厂家、规格型号、生产日期、批号等信息。包装、运输和贮存方面则规定了三氟化硼的包装材料、包装方式、运输方式、贮存条件等内容。

通过GB/T 14603-2009标准的制定和实施，可以保证电子工业用气体三氟化硼的质量和稳定性，提高电子工业生产过程的安全性和效率。

相关标准：
GB/T 14602-2008 电子工业用气体 氦气
GB/T 14604-2008 电子工业用气体 氮气
GB/T 14605-2008 电子工业用气体 氧气
GB/T 14606-2008 电子工业用气体 氩气
GB/T 14607-2008 电子工业用气体 氢气