氨是一种无色、有刺激性气味的气体,广泛应用于电子工业中。本标准适用于电子工业用气体氨的生产、供应和使用。
1. 技术要求
1.1 纯度要求
氨的纯度应不低于99.999%。其中,氧、氮、水分、氢气、氩气、氦气、甲烷、一氧化碳、二氧化碳、硫化氢、氟化氢、氯化氢、氧化物、氮氧化物等杂质的含量应符合表1的要求。
表1 氨的杂质含量要求
| 杂质 | 含量(v/v)/ppm |
| ---- | ---------------- |
| 氧 | ≤1 |
| 氮 | ≤1 |
| 水分 | ≤1 |
| 氢气 | ≤1 |
| 氩气 | ≤1 |
| 氦气 | ≤1 |
| 甲烷 | ≤1 |
| 一氧化碳 | ≤1 |
| 二氧化碳 | ≤1 |
| 硫化氢 | ≤0.1 |
| 氟化氢 | ≤0.1 |
| 氯化氢 | ≤0.1 |
| 氧化物 | ≤0.1 |
| 氮氧化物 | ≤0.1 |
1.2 物理性质要求
氨的物理性质应符合表2的要求。
表2 氨的物理性质要求
| 物理性质 | 要求 |
| -------- | ---- |
| 外观 | 无色 |
| 气味 | 有刺激性气味 |
| 密度(20℃,101.325kPa) | ≤0.771kg/m³ |
| 沸点(101.325kPa) | -33.3℃ |
| 熔点(101.325kPa) | -77.7℃ |
| 气体比重(空气=1) | 0.597 |
| 溶解度(20℃,101.325kPa) | 0.032g/100g水 |
2. 试验方法
2.1 纯度试验方法
氨的纯度试验方法应符合GB/T 14602-2009《电子工业用气体 纯度试验方法》的要求。
2.2 杂质试验方法
氨的杂质试验方法应符合GB/T 14603-2009《电子工业用气体 杂质试验方法》的要求。
3. 包装、标志、运输和贮存
3.1 包装
氨应采用钢瓶或其他合适的容器进行包装。包装应符合GB/T 5099的要求。
3.2 标志
氨的包装应标明氨的名称、纯度、净重、生产日期、生产厂家等信息。
3.3 运输
氨的运输应符合GB/T 12268的要求。
3.4 贮存
氨的贮存应符合GB/T 12269的要求。
相关标准
- GB/T 5099 钢质气瓶
- GB/T 12268 气瓶运输
- GB/T 12269 气瓶贮存
- GB/T 14602-2009 电子工业用气体 纯度试验方法
- GB/T 14603-2009 电子工业用气体 杂质试验方法