GB/T 14851-2009
电子工业用气体 磷化氢
发布时间:2009-10-30 实施时间:2010-05-01
磷化氢是一种无色、有毒、易燃的气体,主要用于电子工业中的半导体材料制备。GB/T 14851-2009标准规定了电子工业用磷化氢的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存,以确保磷化氢的质量和安全性。
该标准规定了磷化氢的技术要求,包括磷化氢的纯度、杂质含量、水分含量、氧含量、硫化氢含量、氮气含量等指标。其中,磷化氢的纯度要求不低于99.999%。此外,标准还规定了磷化氢的试验方法,包括纯度测定、杂质含量测定、水分含量测定、氧含量测定、硫化氢含量测定、氮气含量测定等。
为了确保磷化氢的质量和安全性,标准还规定了磷化氢的检验规则。在检验过程中,需要对磷化氢的外观、纯度、杂质含量、水分含量、氧含量、硫化氢含量、氮气含量等指标进行检测。同时,标准还规定了磷化氢的标志、包装、运输和贮存要求,以确保磷化氢的安全性和稳定性。
总之,GB/T 14851-2009标准为电子工业用磷化氢的生产、质量控制、运输和贮存提供了明确的技术要求和规范,有助于保障磷化氢的质量和安全性,促进电子工业的发展。
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