微束分析扫描电镜能谱仪是一种常用的材料表征仪器，可以用于分析材料的成分和结构等信息。在使用微束分析扫描电镜能谱仪进行定量分析时，需要测定一些参数，如能量分辨率、计数率、峰宽等，以保证分析结果的准确性和可靠性。本标准就是为了规定这些参数的测定方法。

本标准首先介绍了微束分析扫描电镜能谱仪的基本原理和结构，包括能谱仪的组成、工作原理、信号处理等。然后详细描述了能量分辨率、计数率、峰宽等参数的测定方法，包括实验步骤、仪器设置、数据处理等。最后，本标准还介绍了一些常见的误差来源和处理方法，以及对测定结果的评价方法。

本标准的实施可以保证微束分析扫描电镜能谱仪定量分析参数的测定准确、可靠，有助于提高材料表征的精度和可信度。

相关标准
GB/T 6900-2006 电子显微镜术语
GB/T 6901-2006 扫描电镜术语
GB/T 6902-2006 透射电镜术语
GB/T 6903-2006 电子探针术语
GB/T 6904-2006 电子显微镜性能检验方法