砷化氢是一种无色、有毒、易燃的气体，主要用于半导体材料的生产。本标准适用于电子工业中使用的砷化氢。

1. 技术要求
砷化氢的纯度应不低于99.999%。其中，砷的含量应不高于1×10-6，杂质气体的含量应不高于1×10-6。砷化氢的水分含量应不高于1×10-6。

2. 试验方法
砷化氢的纯度、砷含量、杂质气体含量和水分含量的检测应符合GB/T 14612-2011《气体纯度的测定方法》的规定。

3. 检验规则
砷化氢的检验应符合GB/T 191-2008《包装、运输、贮存标志通用规则》的规定。

4. 包装、标志、运输和贮存
砷化氢应采用钢瓶或铝瓶进行包装，每个瓶子的净重不得超过50kg。瓶子应标明砷化氢的名称、纯度、净重、生产日期和生产厂家等信息。砷化氢应在阴凉、干燥、通风良好的地方贮存，远离火源和氧化剂。砷化氢的运输应符合GB 12268-2012《危险货物运输规则》的规定。

相关标准
GB/T 14612-2011 气体纯度的测定方法
GB/T 191-2008 包装、运输、贮存标志通用规则
GB 12268-2012 危险货物运输规则
GB/T 26249-2010 电子工业用气体 氮化氢
GB/T 26251-2010 电子工业用气体 磷化氢