俄歇电子能谱和X射线光电子能谱是表面化学分析中常用的两种技术，它们可以用来研究材料表面的化学成分和电子结构。在实际应用中，我们需要对这些技术的分辨率进行测定，以保证分析结果的准确性和可靠性。

本标准规定了俄歇电子能谱和X射线光电子能谱的横向分辨率测定方法。横向分辨率是指在样品表面上，两个相邻的化学成分区域之间的最小距离。横向分辨率的测定方法包括两种：一种是通过测量样品表面上的线条图案来计算横向分辨率；另一种是通过测量样品表面上的点图案来计算横向分辨率。

在测量横向分辨率时，需要注意以下几点：

1. 样品表面应该是平整的，没有明显的凹凸不平或者污染。

2. 测量时需要使用高分辨率的仪器，以保证测量结果的准确性。

3. 测量时需要选择合适的分析条件，包括束流能量、束流密度、分析角度等。

4. 测量时需要进行多次重复测量，以保证测量结果的可靠性。

本标准的实施可以提高俄歇电子能谱和X射线光电子能谱的分辨率测定水平，为表面化学分析提供更加准确和可靠的数据。

相关标准
GB/T 28631-2012 表面化学分析 俄歇电子能谱和X射线光电子能谱 分析条件的选择

GB/T 28633-2012 表面化学分析 俄歇电子能谱和X射线光电子能谱 分析结果的处理

GB/T 28634-2012 表面化学分析 俄歇电子能谱和X射线光电子能谱 分析结果的报告

GB/T 28635-2012 表面化学分析 俄歇电子能谱和X射线光电子能谱 分析误差的评定

GB/T 28636-2012 表面化学分析 俄歇电子能谱和X射线光电子能谱 分析数据的存储和管理