微束分析是一种用于分析材料中元素含量的方法，其原理是利用电子束或离子束轰击样品，使样品中的原子发生激发和电离，产生特征X射线或荧光辐射，通过能谱分析来确定样品中元素的含量。微束分析能够对样品进行非破坏性分析，同时具有高灵敏度、高分辨率和高空间分辨率等优点，因此在材料科学、地质学、生物学等领域得到了广泛应用。

本标准规定了微束分析能谱法定量分析的方法和要求。其中包括样品制备、仪器校准、能谱分析、定量分析等方面的内容。具体要求如下：

1. 样品制备
样品应当制备成均匀、平整、无气孔、无裂纹的薄片或表面。样品的厚度应当控制在10-20μm之间，以保证分析的准确性和精度。

2. 仪器校准
在进行微束分析前，应当对仪器进行校准。校准内容包括能量刻度、峰位校准、峰面积校准等。校准应当在每次分析前进行，以保证分析结果的准确性和可靠性。

3. 能谱分析
能谱分析是微束分析的核心部分，其目的是通过分析样品发出的X射线或荧光辐射的能谱图来确定样品中元素的含量。能谱分析应当在仪器校准后进行，同时应当对分析结果进行质量控制，以保证分析结果的准确性和可靠性。

4. 定量分析
定量分析是微束分析的最终目的，其目的是通过能谱分析结果来确定样品中元素的含量。定量分析应当根据样品的特点和分析要求进行选择，同时应当对分析结果进行质量控制，以保证分析结果的准确性和可靠性。

相关标准
GB/T 17360-2012 微束分析 能谱法定性分析
GB/T 17361-2012 微束分析 电子探针法定量分析
GB/T 17362-2012 微束分析 电子探针法定性分析
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GB/T 17364-2012 微束分析 离子探针法定性分析