俄歇电子能谱和X射线光电子能谱是表面化学分析中常用的技术手段，可以用于分析材料表面的化学成分和化学状态。在进行俄歇电子能谱和X射线光电子能谱分析时，需要对横向分辨率、分析面积和分析器所能检测到的样品面积进行测定，以保证分析结果的准确性和可靠性。

本标准规定了俄歇电子能谱和X射线光电子能谱的横向分辨率、分析面积和分析器所能检测到的样品面积的测定方法。其中，横向分辨率是指在样品表面上两个相邻的化学成分的界面处，能够分辨出它们的最小距离。分析面积是指在样品表面上进行化学成分分析的区域面积。样品面积是指在分析器所能检测到的样品表面上的面积。

本标准中，横向分辨率的测定方法包括使用标准样品和计算方法两种。使用标准样品的方法是将已知横向分辨率的标准样品放置在分析器中进行测定，计算出分析器的横向分辨率。计算方法是通过对分析器的性能参数进行计算，得出分析器的横向分辨率。分析面积的测定方法包括使用标准样品和计算方法两种。使用标准样品的方法是将已知分析面积的标准样品放置在分析器中进行测定，计算出分析器的分析面积。计算方法是通过对分析器的性能参数进行计算，得出分析器的分析面积。样品面积的测定方法包括使用标准样品和计算方法两种。使用标准样品的方法是将已知样品面积的标准样品放置在分析器中进行测定，计算出分析器所能检测到的样品面积。计算方法是通过对分析器的性能参数进行计算，得出分析器所能检测到的样品面积。

相关标准
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