微束分析电子背散射衍射分析方法是一种用电子束照射样品，通过背散射和衍射产生的信号来分析样品成分和结构的方法。该方法广泛应用于材料科学、地质学、生物学等领域。

本标准规定了微束分析电子背散射衍射分析方法的基本原理、仪器设备、样品制备、操作程序、数据处理和结果报告等内容。其中，基本原理包括电子背散射和衍射的原理，仪器设备包括电子显微镜、电子探测器、样品制备包括样品的制备和处理，操作程序包括样品的选择、电子束的照射、数据采集等，数据处理包括数据的处理和分析，结果报告包括结果的呈现和解释等。

本标准适用于微束分析电子背散射衍射分析方法的实验室和研究机构，也适用于相关领域的科研人员和技术人员。

相关标准
- GB/T 19502-2013 微束分析 电子探针分析方法通则
- GB/T 19503-2013 微束分析 扫描电子显微镜分析方法通则
- GB/T 19504-2013 微束分析 透射电子显微镜分析方法通则
- GB/T 19505-2013 微束分析 扫描透射电子显微镜分析方法通则
- GB/T 19506-2013 微束分析 电子探针显微镜分析方法通则