表面化学分析是一种重要的分析方法，可以用于研究材料表面的化学成分和结构。俄歇电子能谱和X射线光电子能谱是表面化学分析中常用的技术手段。在使用这两种技术进行定量分析时，需要测定相对灵敏度因子，以便将实验测得的信号转化为化学计量学上的含量。

本标准规定了在均匀材料定量分析中使用俄歇电子能谱和X射线光电子能谱实验测定的相对灵敏度因子的方法和要求。其中，相对灵敏度因子是指在相同的实验条件下，不同元素的信号强度与某一元素的信号强度之比。本标准要求在测定相对灵敏度因子时，应使用标准参考物质，并按照一定的程序进行实验测定和数据处理。

本标准适用于使用俄歇电子能谱和X射线光电子能谱进行均匀材料定量分析的实验室和研究机构。

相关标准
- GB/T 29976-2013 表面化学分析 俄歇电子能谱和X射线光电子能谱 相对灵敏度因子的测定
- GB/T 29977-2013 表面化学分析 俄歇电子能谱和X射线光电子能谱 定量分析的方法
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