高纯气体是电子工业中不可或缺的重要材料，其中高纯氯作为半导体材料的重要原料，其纯度和质量控制对半导体器件的性能和可靠性有着至关重要的影响。GB/T 18994-2014《电子工业用气体 高纯氯》标准的发布，为高纯氯的生产和使用提供了标准化的依据。

该标准将高纯氯分为两类：一类为电子工业用高纯氯，另一类为半导体工业用高纯氯。其中，电子工业用高纯氯的纯度要求为99.999%（体积分数），半导体工业用高纯氯的纯度要求更高，达到99.9999%（体积分数）。此外，标准还对高纯氯的杂质含量、水分含量、氧含量、氮含量、二氧化碳含量等指标进行了详细的规定。

为了确保高纯氯的质量，标准还规定了高纯氯的质量控制要求。生产厂家应建立完善的质量管理体系，对原材料、生产过程、成品进行全面的质量控制。同时，标准还规定了高纯氯的包装、运输和贮存要求，以确保高纯氯在整个生产和使用过程中的质量不受影响。

为了保证高纯氯的质量，标准还规定了高纯氯的检验规则和试验方法。其中，检验规则包括对高纯氯的外观、纯度、杂质含量、水分含量、氧含量、氮含量、二氧化碳含量等指标进行检验；试验方法包括气相色谱法、电导率法、红外吸收法、质谱法等多种方法。

总之，GB/T 18994-2014《电子工业用气体 高纯氯》标准的发布，为高纯氯的生产和使用提供了标准化的依据，有助于提高高纯氯的质量和可靠性，促进电子工业的发展。

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