GB/T 14602-2014
电子工业用气体 氯化氢
发布时间:2014-12-22 实施时间:2015-07-01
氯化氢是一种无色、有刺激性气味的气体,具有强烈的腐蚀性和毒性。在电子工业中,氯化氢主要用于半导体制造过程中的蚀刻和清洗。为了保证半导体产品的质量和稳定性,氯化氢的纯度和质量控制非常重要。本标准旨在规范电子工业用气体氯化氢的生产、质量控制和使用。
1. 技术要求
本标准规定了氯化氢的纯度、杂质含量、水分含量、氧含量、氮含量、二氧化碳含量、氯化物含量等技术要求。其中,氯化氢的纯度要求不低于99.99%。
2. 试验方法
本标准规定了氯化氢的试验方法,包括纯度测定、杂质含量测定、水分含量测定、氧含量测定、氮含量测定、二氧化碳含量测定、氯化物含量测定等。
3. 检验规则
本标准规定了氯化氢的检验规则,包括出厂检验、定期检验、抽样检验、检验结果判定等。
4. 包装、标志、运输和贮存
本标准规定了氯化氢的包装、标志、运输和贮存要求,包括包装容器、标志、运输方式、贮存条件等。
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