六氟化硫是一种无色、无味、无毒的气体，具有优异的绝缘性能和化学稳定性，被广泛应用于电子工业中的绝缘、清洗和蚀刻等领域。为了保证电子工业用六氟化硫的质量和安全性，GB/T 18867-2014标准被制定出来。

该标准规定了电子工业用六氟化硫的技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志、运输和贮存。其中，技术要求包括了六氟化硫的纯度、水分、氧化物、氯化物、氟化物、硫化氢、氮气、氧气、二氧化碳等指标的要求。试验方法包括了纯度、水分、氧化物、氯化物、氟化物、硫化氢、氮气、氧气、二氧化碳等指标的测定方法。检验规则包括了六氟化硫的检验分类、检验方法、检验规程等内容。包装、标志、运输和贮存方面，标准也做了详细的规定。

该标准的实施，可以保证电子工业用六氟化硫的质量和安全性，有利于促进电子工业的发展。

相关标准
GB/T 18868-2014 电子工业用气体 三氟甲烷
GB/T 18869-2014 电子工业用气体 四氟乙烷
GB/T 18870-2014 电子工业用气体 二氟化碳
GB/T 18871-2014 电子工业用气体 一氧化二氟
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