GB/T 31987-2015
电子工业用气体 锗烷
发布时间:2015-09-11 实施时间:2016-05-01
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锗烷是一种无色、有刺激性气味的气体,主要用于半导体材料的制备。GB/T 31987-2015标准规定了电子工业用气体锗烷的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。
该标准规定了锗烷的外观、纯度、杂质含量、水分含量、氧含量、硫含量、氮含量、氢含量、氧化物含量、氯含量、铁含量、铜含量、镉含量、镍含量、铅含量、砷含量、硒含量、汞含量、磷含量、钠含量、钾含量、钙含量、镁含量、铝含量、硅含量、钛含量、锰含量、锌含量、银含量、铂含量、钯含量、金含量等指标的要求。
此外,标准还规定了锗烷的包装、运输和贮存要求。锗烷应采用钢瓶或铝瓶包装,每个瓶子的净重不得超过50kg。在运输和贮存过程中,应注意防止锗烷泄漏和火灾爆炸等危险情况的发生。
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