表面化学分析是一种重要的分析方法，可以用于研究材料表面的化学成分和结构。深度剖析是表面化学分析的一种方法，可以用于研究材料表面的化学成分和结构在深度方向上的变化。机械轮廓仪是一种常用的深度剖析仪器，可以用于测量材料表面的形貌和深度剖析。

栅网复型法是机械轮廓仪测量溅射速率的一种方法。该方法利用栅网复型技术，将材料表面的形貌复制到栅网上，然后通过测量栅网的形貌变化来计算材料表面的溅射速率。该方法具有测量精度高、测量速度快、适用范围广等优点，已经成为深度剖析中常用的方法之一。

本标准规定了机械轮廓仪栅网复型法测量溅射速率的具体方法。该方法包括样品制备、栅网复型、栅网形貌测量、溅射速率计算等步骤。其中，样品制备包括样品的清洗、抛光等步骤；栅网复型包括栅网的制备、栅网复型等步骤；栅网形貌测量包括栅网形貌的测量、数据处理等步骤；溅射速率计算包括根据栅网形貌变化计算溅射速率等步骤。

本标准适用于金属、陶瓷、玻璃等材料表面的化学分析，特别是在薄膜制备和表面处理等领域中的应用。该方法可以用于测量材料表面的溅射速率，从而研究材料表面的化学成分和结构在深度方向上的变化。该方法具有测量精度高、测量速度快、适用范围广等优点，已经成为深度剖析中常用的方法之一。

相关标准
- GB/T 20123-2006 金属材料表面粗糙度测量方法
- GB/T 20125-2006 金属材料表面形貌测量方法
- GB/T 20126-2006 金属材料表面硬度测量方法
- GB/T 20127-2006 金属材料表面清洗方法
- GB/T 20128-2006 金属材料表面抛光方法