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玻璃衬底上纳米薄膜厚度测量是纳米科技领域中的重要技术之一，其精度和准确性对于纳米材料的研究和应用具有重要意义。触针式轮廓仪法是一种常用的测量方法，本标准规定了该方法的具体操作流程和技术要求。

本标准首先对测量设备进行了要求，包括触针式轮廓仪的型号、分辨率、测量范围等。同时，还对测量环境进行了要求，包括温度、湿度等因素的控制，以保证测量结果的准确性和可重复性。

在测量前，需要对样品进行处理，包括清洗、干燥等步骤。测量时，需要根据样品的特点选择合适的测量参数，包括扫描速度、扫描范围等。同时，还需要对测量结果进行处理和分析，包括计算平均值、标准差等统计量。

本标准还对测量结果的报告进行了要求，包括测量数据、误差分析等内容。同时，还对测量结果的精度和准确性进行了评价，包括测量误差、重复性等指标。

总之，本标准规定了玻璃衬底上纳米薄膜厚度测量的具体操作流程和技术要求，对于保证测量结果的准确性和可重复性具有重要意义。

相关标准：
GB/T 3181-2015 玻璃化学分析方法
GB/T 3182-2015 玻璃物理性能测试方法
GB/T 3183-2015 玻璃化学耐久性测试方法
GB/T 3184-2015 玻璃机械性能测试方法
GB/T 3185-2015 玻璃光学性能测试方法