GB/T 33838-2017
微束分析 扫描电子显微术 图像锐度评估方法
发布时间:2017-05-31 实施时间:2018-04-01
扫描电子显微术是一种常用的材料表征技术,其图像质量的好坏直接影响到分析结果的准确性和可靠性。图像锐度是图像质量的一个重要指标,它反映了图像中物体边缘的清晰程度。因此,对SEM图像的锐度进行评估是非常必要的。
本标准主要包括以下内容:
1. 术语和定义
本标准列出了与SEM图像锐度评估相关的术语和定义,包括锐度、边缘、卷积等。
2. 图像锐度评估方法
本标准提出了两种图像锐度评估方法:卷积法和微分法。其中,卷积法是通过对图像进行卷积操作,得到锐度值;微分法是通过对图像进行微分操作,得到锐度值。两种方法各有优缺点,具体选择哪种方法应根据实际情况进行判断。
3. 图像锐度评估结果的表示
本标准规定了图像锐度评估结果的表示方法,包括锐度值、锐度分布曲线、锐度分布直方图等。
4. 图像锐度评估的误差分析
本标准对图像锐度评估的误差来源进行了分析,包括SEM系统本身的误差、图像处理算法的误差、样品制备的误差等。
5. 图像锐度评估的应用
本标准介绍了图像锐度评估在SEM图像质量控制、SEM系统性能评估、SEM图像后处理等方面的应用。
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