GB/T 15909-2017
电子工业用气体 硅烷
发布时间:2017-05-31 实施时间:2017-12-01


硅烷是一种无色、有刺激性气味的气体,化学式为SiH4,分子量为32.1。硅烷是电子工业中重要的原材料之一,广泛应用于半导体、光电子、液晶显示器等领域。为了保证电子工业用气体硅烷的质量,GB/T 15909-2017标准对其进行了规范。

本标准规定了电子工业用气体硅烷的技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志、运输和贮存。其中,技术要求包括硅烷的纯度、杂质含量、水分含量、氧含量、氮含量、氢气含量等指标。试验方法包括红外吸收法、气相色谱法、热导法、电导率法等。检验规则包括出厂检验、定期检验和抽样检验等。包装、标志、运输和贮存方面,本标准也做出了详细规定。

本标准的实施,有利于保证电子工业用气体硅烷的质量,促进电子工业的发展。同时,也为硅烷生产企业提供了技术规范,有利于提高企业的生产管理水平。

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